Wafer አያያዝ ክንድበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ለማስተናገድ ፣ ለማዛወር እና አቀማመጥ የሚያገለግል ቁልፍ መሳሪያ ነው።ዋፈርስ. እሱ ብዙውን ጊዜ በትክክል የመንቀሳቀስ እና የቦታ አቀማመጥ ችሎታዎች ያሉት የሮቦት ክንድ ፣ መያዣ እና የቁጥጥር ስርዓት ያካትታል።Wafer አያያዝ ክንዶችበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በተለያዩ አገናኞች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ ፣ እንደ ዋፈር ጭነት ፣ ጽዳት ፣ ቀጭን ፊልም ማስቀመጫ ፣ ማሳከክ ፣ ሊቶግራፊ እና ምርመራ ያሉ የሂደት ደረጃዎችን ጨምሮ። የምርት ሂደቱን ጥራት, ቅልጥፍና እና ወጥነት ለማረጋገጥ የእሱ ትክክለኛነት, አስተማማኝነት እና አውቶማቲክ ችሎታዎች አስፈላጊ ናቸው.
የዋፈር አያያዝ ክንድ ዋና ተግባራት የሚከተሉትን ያካትታሉ:
1. Wafer transfer፡- የዋፈር ማስተናገጃ ክንድ ቫፈርን ከአንድ ቦታ ወደ ሌላ ቦታ በትክክል ማስተላለፍ ይችላል ለምሳሌ ከማከማቻ መደርደሪያ ላይ ዋፈር ወስዶ በማቀነባበሪያ መሳሪያ ውስጥ ማስቀመጥ።
2. አቀማመጥ እና አቀማመጥ፡- የዋፈር አያያዝ ክንድ ለቀጣይ ሂደት ወይም የመለኪያ ስራዎች ትክክለኛ አሰላለፍ እና አቀማመጥ ለማረጋገጥ ቫፈርን በትክክል ማስቀመጥ እና ማስተካከል ይችላል።
3. ማጨብጨብ እና መልቀቅ፡- የዋፈር አያያዝ ክንዶች አብዛኛውን ጊዜ ዋይፐርስ በተጠበቀ ሁኔታ ጨብጠው እና አስፈላጊ ሆኖ ሲገኝ የሚለቁት ቋጠሮዎች የተገጠሙ ናቸው።
4. አውቶሜትድ ቁጥጥር፡- የዋፈር ማስተናገጃ ክንድ አስቀድሞ የተወሰነ የድርጊት ቅደም ተከተሎችን በራስ-ሰር ማከናወን የሚችል፣ የምርት ቅልጥፍናን የሚያሻሽል እና የሰዎችን ስህተቶች የሚቀንስ የላቀ የቁጥጥር ስርዓት የተገጠመለት ነው።
ባህሪያት እና ጥቅሞች
1.Precise ልኬቶች እና የሙቀት መረጋጋት.
2.High የተወሰነ ግትርነት እና እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂ ተመሳሳይነት ፣ የረጅም ጊዜ አጠቃቀም መበላሸት መታጠፍ ቀላል አይደለም።
3.It ለስላሳ ላዩን እና ጥሩ የመልበስ መቋቋም አለው, በዚህም ደህንነቱ በተጠበቀ ቅንጣት ብክለት ያለ ቺፕ ማስተናገድ.
4.Silicon carbide resistivity በ 106-108Ω, መግነጢሳዊ ያልሆነ, ከፀረ-ኢኤስዲ ዝርዝር መስፈርቶች ጋር; በቺፑ ላይ ያለውን የስታቲክ ኤሌክትሪክ ክምችት መከላከል ይችላል.
5.Good thermal conductivity, ዝቅተኛ የማስፋፊያ Coefficient.
