ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
ብጁ የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው ቀለበቶች በደንበኞች ልዩ ፍላጎቶች እና የመተግበሪያ መስፈርቶች ላይ በመመርኮዝ በተናጥል የተነደፉ እና በታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂ መሠረት የተሠሩ የቀለበት ምርቶች ናቸው።
የሚከተለው የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው ቀለበቶች አጠቃላይ መግለጫ ነው-
1. የቁሳቁስ ምርጫ፡- በደንበኞች ፍላጎት መሰረት የምርቱን ጥራት እና አፈጻጸም ለማረጋገጥ ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የታንታለም እቃዎች እንደ ተተኳሪነት ተመርጠዋል።
2. መጠን እና ቅርፅ፡- በደንበኛው በሚቀርቡት መስፈርቶች ወይም የንድፍ ሥዕሎች መሠረት የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን መጠን, ዲያሜትር, ውፍረት እና ቅርፅ ከተወሰኑ የመተግበሪያ ሁኔታዎች እና የመሳሪያ መስፈርቶች ጋር እንዲጣጣሙ ተስተካክለዋል.
3. የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ሂደት፡ የታንታለም ቀለበቱ ገጽታ በባለሙያ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ሂደትን በመጠቀም አንድ ወጥ፣ ጥቅጥቅ ያለ እና በደንብ የሚለጠፍ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ይሠራል።
4. የመቋቋም እና የዝገት መቋቋምን ይልበሱ-የሽፋን ሂደትን እና መለኪያዎችን በማመቻቸት የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያለው ቀለበት የተወሰኑ አካባቢዎችን መስፈርቶች ለማሟላት በጣም ጥሩ የመልበስ መከላከያ እና የዝገት መቋቋም ችሎታ እንዳለው ያረጋግጡ።
5. የማኅተም አፈጻጸም፡- በደንበኛው የማተም መስፈርቶች መሠረት የታንታለም ካርባይድ ሽፋን ያለው ቀለበት የማኅተም መዋቅር ውጤታማ የማኅተም አፈጻጸምን ለማረጋገጥ እና የጋዝ ወይም የፈሳሽ ፍሳሽን ለመከላከል የተነደፈ እና የተመረተ ነው።
6. የጥራት ቁጥጥር: በማበጀት ሂደት ውስጥ ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር እና ሙከራዎች የምርቶቹን ወጥነት, አስተማማኝነት እና ተገዢነት ለማረጋገጥ ይከናወናሉ.
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
