በሴሚኮንዳክተር መስክ ውስጥ የእያንዳንዱ አካል መረጋጋት ለጠቅላላው ሂደት በጣም አስፈላጊ ነው.ነገር ግን, ከፍተኛ ሙቀት ባለው አካባቢ, ግራፋይት በቀላሉ ኦክሳይድ እና ጠፍቷል, እና የሲሲ ሽፋን ለግራፋይት ክፍሎች የተረጋጋ ጥበቃ ሊሰጥ ይችላል.በውስጡሰሚሴራቡድን ፣ ከ 5 ፒፒኤም በታች ያለውን የግራፋይት ንፅህና መቆጣጠር የሚችል የራሳችን የግራፍ ማጣሪያ ማቀነባበሪያ መሳሪያ አለን ።የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ንፅህና ከ 5 ፒፒኤም በታች ነው.
✓ በቻይና ገበያ ውስጥ ከፍተኛ ጥራት
✓ ሁልጊዜ ለእርስዎ ጥሩ አገልግሎት, 7 * 24 ሰዓቶች
✓ የመላኪያ አጭር ቀን
✓ ትንሽ MOQ እንኳን ደህና መጣችሁ እና ተቀበለች።
✓ ብጁ አገልግሎቶች
Epitaxy Growth Susceptor
የሲሊኮን / የሲሊኮን ካርቦይድ ቫልቮች በኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ብዙ ሂደቶችን ማለፍ አለባቸው.አንድ አስፈላጊ ሂደት ሲሊኮን / ሲክ ኤፒታክሲ ነው, በውስጡም ሲሊኮን / ሲክ ቫፈር በግራፋይት መሰረት ይከናወናል.የሴሚሴራ ሲሊኮን ካርቦይድ-የተሸፈነ ግራፋይት መሠረት ልዩ ጥቅሞች እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ፣ ወጥ ሽፋን እና እጅግ በጣም ረጅም የአገልግሎት ሕይወት ያካትታሉ።በተጨማሪም ከፍተኛ የኬሚካል መከላከያ እና የሙቀት መረጋጋት አላቸው.
LED ቺፕ ማምረት
የMOCVD ሬአክተር ሰፊ ሽፋን በሚሰጥበት ጊዜ የፕላኔቱ መሠረት ወይም ተሸካሚው የንዑስ ፕላስተር ዋፈርን ያንቀሳቅሳል።የመሠረት ቁሳቁስ አፈፃፀም በሸፈኑ ጥራት ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ያሳድራል, ይህ ደግሞ የቺፑን የጭረት መጠን ይጎዳል.የሴሚሴራ ሲሊኮን ካርቦይድ-የተሸፈነው መሠረት ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የ LED ዋይፎችን የማምረት ውጤታማነት ይጨምራል እና የሞገድ ርዝመት መዛባትን ይቀንሳል።በተጨማሪም በአሁኑ ጊዜ ጥቅም ላይ ላሉ ሁሉም የMOCVD ሪአክተሮች ተጨማሪ የግራፋይት ክፍሎችን እናቀርባለን።ምንም እንኳን የክፍሉ ዲያሜትር እስከ 1.5 ሜ ድረስ ቢሆንም ማንኛውንም አካል በሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን መቀባት እንችላለን።
ሴሚኮንዳክተር መስክ, የኦክሳይድ ስርጭት ሂደትወዘተ.
በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ የኦክሳይድ መስፋፋት ሂደት ከፍተኛ የምርት ንፅህናን ይጠይቃል ፣ እና በሴሚሴራ ውስጥ ለአብዛኛዎቹ የሲሊኮን ካርቦይድ ክፍሎች ብጁ እና የሲቪዲ ሽፋን አገልግሎቶችን እናቀርባለን።
የሚከተለው ምስል በ100 ውስጥ የሚጸዳውን የሲሊኮን ካርቦይድ እቶን ግምታዊ ሂደት ያሳያል።0- ደረጃከአቧራ የጸዳክፍል.ሰራተኞቻችን ከሽፋኑ በፊት እየሰሩ ናቸው.የእኛ የሲሊኮን ካርቦይድ ንፅህና 99.98% ሊደርስ ይችላል, እና የሲክ ሽፋን ንፅህና ከ 99.9995% በላይ ነው..
ጥሬ የሲሊኮን ካርቦይድ መቅዘፊያ እና የሲሲ ሂደት ቱቦ በማጽዳት ላይ
የሲሊኮን ካርቦይድ ዋፈር ጀልባ CVD SiC የተሸፈነ
