ባለ ቀዳዳ የታንታለም ካርቦይድ ሽፋንበርሜል ታንታለም ካርበይድ እንደ ዋናው የመሸፈኛ ቁሳቁስ ነው, ታንታለም ካርቦይድ በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም, የመልበስ መከላከያ እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት አለው. የመሠረቱን ቁሳቁስ ከኬሚካላዊ መሸርሸር እና ከከፍተኛ ሙቀት ከባቢ አየር በተሳካ ሁኔታ መከላከል ይችላል. የመሠረቱ ቁሳቁስ ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ የሙቀት መከላከያ እና የዝገት መከላከያ ባህሪያት አሉት. ጥሩ የሜካኒካል ጥንካሬ እና የኬሚካል መረጋጋት ሊሰጥ ይችላል, እና በተመሳሳይ ጊዜ የድጋፍ መሰረት ሆኖ ያገለግላልየታንታለም ካርበይድ ሽፋን.
ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
