ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
ከፍተኛ-ንፅህና የታንታለም የካርበን ሽፋን ያላቸው ቀለበቶች በልዩ መሳሪያዎች እና ስርዓቶች በአየር ላይ ፣ በኬሚካል ፣ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ እና በሌሎች መስኮች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ ። ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሻሻ አካባቢዎች ውስጥ ለመዝጋት እና ለማስተላለፍ ያገለግላሉ ፣ ይህም አስተማማኝ አፈፃፀም እና ረጅም ጊዜ ይሰጣል ፣ ይህም የመሣሪያዎችን እና የምርት ጥራትን የተረጋጋ አሠራር ያረጋግጣል።
ከፍተኛ-ንፅህና የታንታለም ካርቦን የተሸፈኑ ቀለበቶች ባህሪያት የሚከተሉት ናቸው.
1. ከፍተኛ ሙቀት መረጋጋት: ከፍተኛ-ንፅህና የታንታለም የካርበን ሽፋን ያላቸው ቀለበቶች በከፍተኛ ሙቀት አካባቢዎች ውስጥ መዋቅራዊ መረጋጋትን ሊጠብቁ እና ከፍተኛ የሙቀት ሁኔታዎችን ለመቋቋም ለሚፈልጉ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ የሆነ ከፍተኛ ሙቀት መቋቋም ይችላሉ.
2. የዝገት መቋቋም፡- የታንታለም ቁስ እራሱ ጥሩ የዝገት የመቋቋም አቅም ያለው ሲሆን ላይ ላይ የተሰራው የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን የዝገት የመቋቋም አቅሙን የበለጠ ስለሚያጎለብት የተለያዩ ኬሚካሎች እና መፈልፈያዎችን መሸርሸር መቋቋም ይችላል።
3. የመልበስ መቋቋም፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመቋቋም አቅም አለው፣ በግጭት እና በአለባበስ አካባቢ ጥሩ አፈጻጸምን መጠበቅ እና የአገልግሎት እድሜን ሊያራዝም ይችላል።
4. እጅግ በጣም ጥሩ የማተሚያ አፈጻጸም፡- ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የታንታለም ካርበን የተሸፈኑ ቀለበቶች ጥሩ የማተሚያ አፈጻጸም አላቸው፣ ጋዝ ወይም ፈሳሽ መፍሰስን በብቃት መከላከል ይችላሉ፣ እና ከፍተኛ የማተም መስፈርቶች ላሏቸው የመተግበሪያ ሁኔታዎች ተስማሚ ናቸው።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
