ለሲሲ እድገት ቁልፍ ዋና ቁሳቁስ: የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን

በአሁኑ ጊዜ የሶስተኛው ትውልድ ሴሚኮንዳክተሮች የበላይ ናቸውሲሊከን ካርበይድ. በመሳሪያዎቹ የዋጋ መዋቅር ውስጥ ፣ የ substrate 47% ፣ እና ኤፒታክሲ 23% ይይዛል። ሁለቱ አንድ ላይ ወደ 70% ገደማ ይይዛሉ, ይህም በጣም አስፈላጊው የሲሊከን ካርበይድየመሣሪያ ማምረቻ ኢንዱስትሪ ሰንሰለት.

ለመዘጋጀት በብዛት ጥቅም ላይ የዋለው ዘዴሲሊከን ካርበይድነጠላ ክሪስታሎች የ PVT (አካላዊ የእንፋሎት ማጓጓዣ) ዘዴ ነው. መርሆው ጥሬ ዕቃዎችን በከፍተኛ የሙቀት ዞን እና የዘር ክሪስታል በአንጻራዊነት ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ዞን ውስጥ ማድረግ ነው. ከፍ ባለ የሙቀት መጠን ውስጥ የሚገኙት ጥሬ እቃዎች መበስበስ እና ያለ ፈሳሽ ደረጃ የጋዝ ፈሳሽ ንጥረ ነገሮችን በቀጥታ ያመርታሉ. እነዚህ የጋዝ ምእራፍ ንጥረነገሮች በአክሲየል የሙቀት ቅልጥፍና ስር ወደ ዘር ክሪስታል ይጓጓዛሉ እና በዘሩ ክሪስታል ላይ አስኳል እና ያድጋሉ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ነጠላ ክሪስታል ይፈጥራሉ። በአሁኑ ጊዜ እንደ ክሪ፣ II-VI፣ ሲክሪስታል፣ ዶው እና የሀገር ውስጥ ኩባንያዎች እንደ Tianyue Advanced፣ Tianke Heda እና Century Golden Core ያሉ የውጪ ኩባንያዎች ይህንን ዘዴ ይጠቀማሉ።

ከ 200 በላይ ክሪስታል የሲሊኮን ካርቦይድ ቅርጾች አሉ, እና አስፈላጊውን ነጠላ ክሪስታል ቅርጽ ለመፍጠር በጣም ትክክለኛ ቁጥጥር ያስፈልጋል (ዋናው የ 4H ክሪስታል ቅርጽ ነው). በቲያንዩ ከፍተኛ ፕሮስፔክተስ መሠረት የኩባንያው ክሪስታል ዘንግ በ 2018-2020 እና H1 2021 41% ፣ 38.57% ፣ 50.73% እና 49.90% ነበሩ ፣ እና የ substrate ምርት 72.61% ፣ 75.15% ፣ 75.15% ፣ 75.15% አጠቃላይ ምርቱ በአሁኑ ጊዜ 37.7% ብቻ ነው. ዋናውን የ PVT ዘዴን እንደ ምሳሌ በመውሰድ ዝቅተኛው ምርት በዋነኝነት በሲሲ ንኡስ ፕላስተር ዝግጅት ላይ በሚከተሉት ችግሮች የተነሳ ነው።

1. የሙቀት የመስክ ቁጥጥር አስቸጋሪነት፡ የሲሲ ክሪስታል ዘንጎች በከፍተኛ ሙቀት በ2500℃ እንዲመረቱ ሲደረግ የሲሊኮን ክሪስታሎች ደግሞ 1500℃ ብቻ ያስፈልጋቸዋል ስለዚህ ልዩ ነጠላ ክሪስታል ምድጃዎች ያስፈልጋሉ እና የእድገቱን የሙቀት መጠን በምርት ጊዜ በትክክል መቆጣጠር ያስፈልጋል። , ይህም ለመቆጣጠር እጅግ በጣም አስቸጋሪ ነው.

2. ቀርፋፋ የምርት ፍጥነት፡ የባህላዊ የሲሊኮን ቁሶች እድገታቸው በሰአት 300 ሚ.ሜ ቢሆንም የሲሊኮን ካርቦዳይድ ነጠላ ክሪስታሎች በሰአት 400 ማይክሮን ብቻ ይበቅላሉ ይህም ልዩነቱ ወደ 800 እጥፍ የሚጠጋ ነው።

3. ጥሩ ምርት መለኪያዎች ከፍተኛ መስፈርቶች, እና ጥቁር ሳጥን ምርት ጊዜ ውስጥ ለመቆጣጠር አስቸጋሪ ነው: SiC wafers ዋና መለኪያዎች microtube ጥግግት, መፈናቀል ጥግግት, resistivity, warpage, የገጽታ ሸካራነት, ወዘተ ያካትታሉ ክሪስታል እድገት ሂደት ወቅት, ይህ ነው. እንደ የሲሊኮን-ካርቦን ሬሾ, የእድገት የሙቀት መጠን መጨመር, የክሪስታል እድገት ፍጥነት እና የአየር ፍሰት ግፊት የመሳሰሉ መለኪያዎችን በትክክል ለመቆጣጠር አስፈላጊ ነው. አለበለዚያ, ፖሊሞፈርፊክ ማካተት ሊከሰት ይችላል, ይህም ብቁ ያልሆኑ ክሪስታሎችን ያስከትላል. በግራፍ ክሬይ ጥቁር ሳጥን ውስጥ ክሪስታል የእድገት ሁኔታን በእውነተኛ ጊዜ ለመመልከት የማይቻል ነው, እና በጣም ትክክለኛ የሙቀት መስክ ቁጥጥር, የቁሳቁስ ማዛመጃ እና የልምድ ክምችት ያስፈልጋል.

4. የክሪስታል መስፋፋት አስቸጋሪነት፡- በጋዝ ደረጃ የማጓጓዣ ዘዴ፣ የሲሲ ክሪስታል እድገት የማስፋፊያ ቴክኖሎጂ እጅግ በጣም ከባድ ነው። ክሪስታል መጠኑ እየጨመረ ሲሄድ የእድገቱ ችግር በከፍተኛ ደረጃ ይጨምራል.

5. በአጠቃላይ ዝቅተኛ ምርት፡ ዝቅተኛ ምርት በዋናነት በሁለት አገናኞች የተዋቀረ ነው፡ (1) የክሪስታል ዘንግ ምርት = ሴሚኮንዳክተር ደረጃ ክሪስታል ዘንግ ውጤት/(ሴሚኮንዳክተር ደረጃ ክሪስታል ዘንግ ውፅዓት + ሴሚኮንዳክተር ያልሆነ ደረጃ ክሪስታል ዘንግ ውጤት) × 100%; (2) የከርሰ ምድር ምርት = ብቁ የሆነ የከርሰ ምድር ውፅዓት/(ብቃት ያለው የከርሰ ምድር ውፅዓት + ብቁ ያልሆነ የምርት ውጤት) × 100%.

ከፍተኛ ጥራት ያለው እና ከፍተኛ ምርት በሚዘጋጅበት ጊዜየሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፎች, ዋናው የምርት ሙቀትን በትክክል ለመቆጣጠር የተሻለ የሙቀት መስክ ቁሳቁሶችን ይፈልጋል. በአሁኑ ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውሉት የሙቀት መስክ ክሩክብል ኪትስ በዋናነት ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው ግራፋይት መዋቅራዊ ክፍሎች ሲሆኑ የካርቦን ዱቄት እና የሲሊኮን ዱቄት ለማሞቅ እና ለማቅለጥ እና ለማሞቅ ያገለግላሉ። የግራፋይት ቁሳቁሶች ከፍተኛ ልዩ ጥንካሬ እና ልዩ ሞጁሎች, ጥሩ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም እና የዝገት መቋቋም ባህሪያት አላቸው, ነገር ግን ከፍተኛ ሙቀት ባለው የኦክስጂን አከባቢዎች ውስጥ በቀላሉ ኦክሳይድ የመሆን, ለአሞኒያ የማይቋቋሙ እና ደካማ የጭረት መቋቋም ጉዳቶች አሏቸው. በሲሊኮን ካርቦይድ ነጠላ ክሪስታል እድገት እናየሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዋፈርምርት, የግራፋይት ቁሳቁሶችን ለመጠቀም የሰዎችን እየጨመረ የሚሄድ ጥብቅ መስፈርቶችን ማሟላት አስቸጋሪ ነው, ይህም እድገቱን እና ተግባራዊ አተገባበሩን በእጅጉ ይገድባል. ስለዚህ እንደ ታንታለም ካርቦይድ ያሉ ከፍተኛ ሙቀት ያላቸው ሽፋኖች ብቅ ማለት ጀምረዋል.

2. ባህሪያትየታንታለም ካርቦይድ ሽፋን
ታሲ ሴራሚክ የማቅለጫ ነጥብ እስከ 3880℃፣ ከፍተኛ ጥንካሬ (Mohs hardness 9-10)፣ ትልቅ የሙቀት መቆጣጠሪያ (22W·m-1·K−1)፣ ትልቅ የመታጠፍ ጥንካሬ (340-400MPa) እና አነስተኛ የሙቀት መስፋፋት አለው። Coefficient (6.6×10-6K−1)፣ እና እጅግ በጣም ጥሩ ቴርሞኬሚካል መረጋጋት እና እጅግ በጣም ጥሩ አካላዊ ባህሪያትን ያሳያል። ጥሩ የኬሚካል ተኳሃኝነት እና የሜካኒካል ተኳሃኝነት ከግራፋይት እና ከሲ / ሲ ድብልቅ እቃዎች ጋር ነው. ስለዚህ የቲሲ ሽፋን በአይሮስፔስ የሙቀት መከላከያ ፣ ነጠላ ክሪስታል እድገት ፣ ኢነርጂ ኤሌክትሮኒክስ እና የህክምና መሳሪያዎች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል።

ታሲ-የተሸፈነግራፋይት ከባዶ ግራፋይት ወይም በሲሲ ከተሸፈነው ግራፋይት የተሻለ የኬሚካል ዝገት የመቋቋም አቅም አለው፣ በከፍተኛ ሙቀት በ2600° ሊጠቅም ይችላል እና ከብዙ የብረት ንጥረ ነገሮች ጋር ምላሽ አይሰጥም። በሦስተኛው ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ነጠላ ክሪስታል እድገት እና የዋፈር ማሳከክ ሁኔታዎች ውስጥ በጣም ጥሩው ሽፋን ነው። በሂደቱ ውስጥ የሙቀት መጠንን እና ቆሻሻዎችን መቆጣጠር እና ማዘጋጀት በከፍተኛ ሁኔታ ማሻሻል ይችላልከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ ዋፍስእና ተዛማጅepitaxial wafers. በተለይም ጋኤን ወይም አልኤን ነጠላ ክሪስታሎችን ከMOCVD መሳሪያዎች ጋር ለማምረት እና የሲሲ ነጠላ ክሪስታሎችን ከ PVT መሳሪያዎች ጋር ለማሳደግ ተስማሚ ነው, እና ያደጉ ነጠላ ክሪስታሎች ጥራት በከፍተኛ ሁኔታ ተሻሽሏል.

III. የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው መሳሪያዎች ጥቅሞች
የታንታለም ካርቦይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የክሪስታል ጠርዝ ጉድለቶችን ችግር መፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ማሻሻል ይችላል። "በፍጥነት ማደግ, ወፍራም ማደግ እና ረጅም ማደግ" ከሚለው ዋና ቴክኒካዊ አቅጣጫዎች አንዱ ነው. የኢንዱስትሪ ምርምር ደግሞ ታንታለም Carbide የተሸፈነ ግራፋይት ክሩሲብል የበለጠ ወጥ የሆነ ማሞቂያ ማሳካት እንደሚችል አሳይቷል, በዚህም SiC ነጠላ ክሪስታል እድገት ግሩም ሂደት ቁጥጥር ይሰጣል, በዚህም ጉልህ SiC ክሪስታሎች ጠርዝ ላይ polycrystalline ምስረታ እድል ይቀንሳል. በተጨማሪም የታንታለም ካርቦይድ ግራፋይት ሽፋን ሁለት ዋና ጥቅሞች አሉት-

(I) የሲሲ ጉድለቶችን መቀነስ

የ SiC ነጠላ ክሪስታል ጉድለቶችን ከመቆጣጠር አንፃር ብዙውን ጊዜ ሶስት አስፈላጊ መንገዶች አሉ። የእድገት መለኪያዎችን እና ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የምንጭ ቁሶች (እንደ ሲሲ ምንጭ ዱቄት) ከማመቻቸት በተጨማሪ ታንታለም ካርቦይድ ኮትድ ግራፋይት ክሩሲብልን መጠቀም ጥሩ ክሪስታል ጥራትን ማግኘት ይችላል።

የመደበኛ ግራፋይት ክሩሺብል (ሀ) እና ታክ የተሸፈነ ክሩክብል (ለ) ንድፍ ንድፍ

በኮሪያ የምስራቅ አውሮፓ ዩኒቨርሲቲ ባደረገው ጥናት መሰረት በሲሲ ክሪስታል እድገት ውስጥ ዋናው ርኩሰት ናይትሮጅን ሲሆን የታንታለም ካርበይድ ሽፋን ያለው ግራፋይት ክሩሺብልስ የሲሲ ክሪስታሎች የናይትሮጅን ውህደትን ውጤታማ በሆነ መንገድ በመገደብ እንደ ማይክሮፒፕስ ያሉ ጉድለቶችን በመቀነስ እና ክሪስታልን ማሻሻል ይችላሉ ። ጥራት. ጥናቶች እንደሚያሳዩት በተመሳሳዩ ሁኔታዎች ውስጥ በተለመደው ግራፋይት ክሬይሎች እና በቲኤሲ የተሸፈኑ ክሩክሎች ውስጥ የሚበቅሉት የሲሲ ዋይፈሮች ተሸካሚዎች 4.5×1017/ሴሜ እና 7.6×1015/ሴሜ በቅደም ተከተል ናቸው።

በሲሲ ነጠላ ክሪስታሎች ውስጥ ያሉ ጉድለቶችን ማነፃፀር በተለመደው ግራፋይት ክሩሺብል (ሀ) እና በቲኤሲ የተሸፈኑ ክሩሺብልስ (ለ)

(II) የግራፋይት ክራንች ህይወትን ማሻሻል

በአሁኑ ጊዜ የሲሲ ክሪስታሎች ዋጋ ከፍተኛ ሆኖ ቆይቷል, ከዚህ ውስጥ የግራፍ ፍጆታዎች ዋጋ 30% ያህል ነው. የግራፋይት ፍጆታ ዋጋን ለመቀነስ ዋናው ነገር የአገልግሎት ህይወቱን መጨመር ነው. ከብሪቲሽ የምርምር ቡድን የተገኘው መረጃ እንደሚያመለክተው የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን የግራፋይት አካላትን የአገልግሎት እድሜ ከ30-50% ሊያራዝም ይችላል። በዚህ ስሌት መሰረት, የታንታለም ካርበይድ የተሸፈነ ግራፋይት መተካት ብቻ የሲሲ ክሪስታሎች ዋጋ በ 9% -15% ይቀንሳል.

4. የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ዝግጅት ሂደት
የታክ ሽፋን ዝግጅት ዘዴዎች በሦስት ምድቦች ሊከፈሉ ይችላሉ-ጠንካራ ደረጃ ዘዴ, ፈሳሽ ደረጃ ዘዴ እና የጋዝ ደረጃ ዘዴ. የጠንካራው ደረጃ ዘዴ በዋናነት የመቀነስ ዘዴን እና የኬሚካል ዘዴን ያጠቃልላል; የፈሳሽ ሂደት ዘዴ የቀለጠ የጨው ዘዴን ፣ የሶል-ጄል ዘዴን (ሶል-ጄል) ፣ የጭቃ-ማጥመጃ ዘዴን ፣ የፕላዝማ የመርጨት ዘዴን ያጠቃልላል። የጋዝ ደረጃ ዘዴው የኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (CVD), የኬሚካል ትነት ሰርጎ መግባት (CVI) እና አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD) ያካትታል. የተለያዩ ዘዴዎች የራሳቸው ጥቅሞች እና ጉዳቶች አሏቸው. ከነሱ መካከል የሲቪዲ (CVD) በአንጻራዊነት የበሰለ እና የ TaC ሽፋኖችን ለማዘጋጀት በሰፊው ጥቅም ላይ የዋለ ዘዴ ነው. የሂደቱ ቀጣይነት ያለው መሻሻል እንደ ሙቅ ሽቦ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ እና የ ion beam ረዳት ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ የመሳሰሉ አዳዲስ ሂደቶች ተዘጋጅተዋል.

የTaC ሽፋን የተሻሻሉ ካርቦን-ተኮር ቁሳቁሶች በዋናነት ግራፋይት፣ የካርቦን ፋይበር እና የካርቦን/ካርቦን ጥምር ቁሶችን ያካትታሉ። በግራፋይት ላይ የ TaC ሽፋኖችን የማዘጋጀት ዘዴዎች የፕላዝማ ስፕሬይ, ሲቪዲ, የጭስ ማውጫ, ወዘተ.

የሲቪዲ ዘዴ ጥቅሞች፡ የCVD ዘዴ የታንታለም halide (TaX5) እንደ ታንታለም ምንጭ እና ሃይድሮካርቦን (CnHm) እንደ የካርቦን ምንጭ ላይ የተመሰረተ ነው። በተወሰኑ ሁኔታዎች ውስጥ, እነሱ በቅደም ተከተል ወደ ታ እና ሲ ይበሰብሳሉ, እና ከዚያም የ TaC ሽፋኖችን ለማግኘት እርስ በርስ ምላሽ ይሰጣሉ. የሲቪዲ ዘዴው በዝቅተኛ የሙቀት መጠን ሊከናወን ይችላል, ይህም ጉድለቶችን ማስወገድ እና በከፍተኛ ሙቀት ዝግጅት ወይም በተወሰነ ደረጃ ሽፋኖችን በማከም ምክንያት የሚከሰተውን የሜካኒካል ባህሪያት መቀነስ ይችላል. የሽፋኑ ቅንብር እና አወቃቀሩ ቁጥጥር የሚደረግበት ሲሆን ከፍተኛ ንፅህና, ከፍተኛ መጠን ያለው እና ተመሳሳይ ውፍረት ያለው ጠቀሜታ አለው. ከሁሉም በላይ, በሲቪዲ የተዘጋጀው የ TaC ሽፋኖች ቅንብር እና መዋቅር ሊነደፉ እና በቀላሉ ሊቆጣጠሩት ይችላሉ. ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የ TaC ሽፋኖችን ለማዘጋጀት በአንጻራዊነት የበሰለ እና በስፋት ጥቅም ላይ የዋለ ዘዴ ነው.

የሂደቱ ዋና ተፅእኖዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

ሀ. የጋዝ ፍሰት መጠን (ታንታለም ምንጭ፣ ሃይድሮካርቦን ጋዝ እንደ ካርቦን ምንጭ፣ ተሸካሚ ጋዝ፣ dilution ጋዝ Ar2፣ ጋዝ H2 በመቀነስ)፡ የጋዝ ፍሰት መጠን ለውጥ በሙቀት መስክ፣ የግፊት መስክ እና በጋዝ ፍሰት መስክ ላይ ትልቅ ተጽእኖ አለው። የምላሽ ክፍሉ, የሽፋኑ ቅንብር, መዋቅር እና አፈፃፀም ለውጦችን ያስከትላል. የ Ar ፍሰት መጠን መጨመር የሽፋኑን እድገት ፍጥነት ይቀንሳል እና የእህል መጠኑን ይቀንሳል, የ TaCl5, H2 እና C3H6 የሞላር ስብስብ ጥምርታ የሽፋኑን ስብጥር ይጎዳል. የ H2 እና TaCl5 የሞላር ሬሾ (15-20): 1 ነው, ይህም የበለጠ ተስማሚ ነው. የTaCl5 እና C3H6 የሞላር ጥምርታ በንድፈ ሀሳብ ወደ 3፡1 ቅርብ ነው። ከመጠን በላይ TaCl5 ወይም C3H6 Ta2C ወይም ነፃ ካርቦን እንዲፈጠር ያደርጋል፣ ይህም የዋፈርን ጥራት ይጎዳል።

ለ. የተከማቸ የሙቀት መጠን: ከፍተኛ የሙቀት መጠን መጨመር, የተከማቸ ፍጥነት, የእህል መጠን ትልቅ እና ሸካራማ ሽፋን. በተጨማሪም የሃይድሮካርቦን መበስበስ የሙቀት መጠን እና ፍጥነት ወደ C እና TaCl5 መበስበስ ወደ ታ የተለያዩ ናቸው እና ታ እና ሲ Ta2C የመፍጠር ዕድላቸው ከፍተኛ ነው። የሙቀት መጠን በ TaC ሽፋን በተሻሻሉ የካርቦን ቁሳቁሶች ላይ ትልቅ ተጽእኖ አለው. የተከማቸ የሙቀት መጠን ሲጨምር, የመቀየሪያው መጠን ይጨምራል, የንጥሉ መጠን ይጨምራል, እና የንጥሉ ቅርፅ ከሉል ወደ ፖሊሄድራል ይለወጣል. በተጨማሪም, የተከማቸ የሙቀት መጠን ከፍ ባለ መጠን, የ TaCl5 ብስባሽ ፍጥነት, ነፃ C ያነሰ ይሆናል, በሽፋኑ ውስጥ ያለው ጭንቀት ይጨምራል, እና ስንጥቆች በቀላሉ ሊፈጠሩ ይችላሉ. ይሁን እንጂ ዝቅተኛ የማስቀመጫ የሙቀት መጠን ዝቅተኛ የሽፋን ማስቀመጫ ቅልጥፍናን, ረዘም ያለ ጊዜን እና ከፍተኛ የጥሬ ዕቃ ወጪዎችን ያስከትላል.

ሐ. የማስቀመጫ ግፊት፡- የማስቀመጫ ግፊት ከቁሳቁስ ወለል ነፃ ኃይል ጋር በቅርበት የተዛመደ እና በአፀፋው ክፍል ውስጥ ባለው የጋዝ መኖሪያ ጊዜ ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል ፣ በዚህም የንኪኪው ፍጥነት እና የንጣፉን መጠን ይነካል ። የማስቀመጫ ግፊት እየጨመረ በሄደ መጠን የጋዝ መኖሪያው ጊዜ ይረዝማል, አጸፋዎቹ የኑክሌር ምላሾችን ለመውሰድ ብዙ ጊዜ ይኖራቸዋል, የምላሽ መጠን ይጨምራል, ንጣቶቹ ትልቅ ይሆናሉ, እና ሽፋኑ እየጨመረ ይሄዳል; በተቃራኒው, የማስቀመጫ ግፊት ይቀንሳል, ምላሽ ጋዝ የመኖሪያ ጊዜ አጭር ነው, ምላሽ ፍጥነት ይቀንሳል, ቅንጣቶች አነስ ናቸው, እና ሽፋን ቀጭን ነው, ነገር ግን የማስቀመጫ ግፊት ሽፋን ያለውን ክሪስታል መዋቅር እና ስብጥር ላይ ትንሽ ተጽዕኖ አለው.

V. የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን የእድገት አዝማሚያ
የTaC (6.6×10−6K−1) የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ከካርቦን ላይ ከተመሠረቱ እንደ ግራፋይት፣ ካርቦን ፋይበር እና ሲ/ሲ የተቀናበሩ ቁሶች በተወሰነ ደረጃ የተለየ ነው፣ ይህም ነጠላ-ደረጃ TaC ሽፋኖችን ለመሰባበር እና ተጋላጭ ያደርገዋል። መውደቅ. የ TaC ሽፋኖችን የማስወገጃ እና የኦክሳይድ መቋቋምን ፣ ከፍተኛ ሙቀት ያለው የሜካኒካል መረጋጋት እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ኬሚካላዊ ዝገት መቋቋምን የበለጠ ለማሻሻል ተመራማሪዎች እንደ ድብልቅ ሽፋን ስርዓቶች ፣ ጠንካራ የመፍትሄ-የበለፀጉ የሽፋን ስርዓቶች እና የግራዲየንት ስርዓቶች ላይ ምርምር አድርገዋል። ሽፋን ስርዓቶች.

የተቀናበረው የሽፋን አሠራር የአንድ ነጠላ ሽፋን ስንጥቆችን መዝጋት ነው. ብዙውን ጊዜ ሌሎች ሽፋኖች ወደ ታሲ ወለል ወይም ውስጠኛ ክፍል ውስጥ እንዲገቡ ይደረጋሉ የተቀናጀ ሽፋን ስርዓት; ጠንካራው የመፍትሄ ማጠናከሪያ ሽፋን ስርዓት HfC ፣ ZrC ፣ ወዘተ እንደ TaC ፊት ላይ ያማከለ ኪዩቢክ መዋቅር አላቸው ፣ እና ሁለቱ ካርቦይድስ እርስ በእርሳቸው ወሰን በሌለው ሊሟሟ የሚችል ጠንካራ የመፍትሄ መዋቅር ይፈጥራሉ። የኤችኤፍ (ታ) ሲ ሽፋን ከስንጥቅ ነፃ ነው እና ከሲ/ሲ ድብልቅ ነገሮች ጋር ጥሩ የማጣበቅ ችሎታ አለው። ሽፋኑ እጅግ በጣም ጥሩ የፀረ-ኤይድ አፈፃፀም አለው; የግራዲየንት ሽፋን ስርዓት የግራዲየንት ሽፋን የሚያመለክተው የሽፋን አካል ትኩረትን በወፍራው አቅጣጫ ላይ ነው። አወቃቀሩ ውስጣዊ ውጥረትን ይቀንሳል, የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅቶችን አለመጣጣም ያሻሽላል, እና ስንጥቆችን ያስወግዳል.

(II) የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን መሳሪያ ምርቶች

በ QYR (Hengzhou Bozhi) ስታቲስቲክስ እና ትንበያዎች መሠረት ፣ በ 2021 የዓለም አቀፍ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ገበያ ሽያጭ 1.5986 ሚሊዮን ዶላር ደርሷል (የክሬን በራስ-የተመረተ እና በራሱ የሚቀርብ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን መሣሪያ ምርቶችን ሳይጨምር) እና አሁንም ገና መጀመሪያ ላይ ነው። የኢንዱስትሪ ልማት ደረጃዎች.

1. ክሪስታል ለማደግ የሚያስፈልጉት የክሪስታል ማስፋፊያ ቀለበቶች እና ክሪብሎች፡ በአንድ ድርጅት 200 ክሪስታል የእድገት እቶን መሰረት በማድረግ በ30 ክሪስታል እድገት ኩባንያዎች የሚፈለጉት የታሲ ሽፋን መሳሪያዎች የገበያ ድርሻ ወደ 4.7 ቢሊዮን ዩዋን ይደርሳል።

2. ታሲ ትሪዎች፡- እያንዳንዱ ትሪ 3 ዋፈር መሸከም ይችላል፣ እያንዳንዱ ትሪ ለ1 ወር መጠቀም ይቻላል፣ እና 1 ትሪ ለ100 ዋፈር ይበላል። 3 ሚሊዮን ዋፈር 30,000 TaC ትሪዎች ያስፈልጋሉ፣ እያንዳንዱ ትሪው ወደ 20,000 ቁርጥራጮች ነው፣ እና 600 ሚሊዮን ገደማ በየዓመቱ ያስፈልጋል።

3. ሌሎች የካርበን ቅነሳ ሁኔታዎች. እንደ ከፍተኛ ሙቀት ያለው ምድጃ ሽፋን, የሲቪዲ ኖዝል, የእቶን ቧንቧዎች, ወዘተ, ወደ 100 ሚሊዮን ገደማ.