ለግራፋይት መሰረት ሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ተሸካሚዎች በሲሲ የተሸፈነ ሂደት

ለግራፋይት መሰረት ሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ተሸካሚዎች ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡-

Semicera Energy Technology Co., Ltd የላቀ ሴሚኮንዳክተር ሴራሚክስ አቅራቢ ነው።የእኛ ዋና ምርቶች የሚከተሉትን ያጠቃልላሉ-ሲሊኮን ካርቦዳይድ የተቀረጹ ዲስኮች ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ጀልባ ተሳቢዎች ፣ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ዋፈር መርከቦች (PV እና ሴሚኮንዳክተር) ፣ የሲሊኮን ካርቦዳይድ እቶን ቱቦዎች ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ታንኳ ቀዘፋዎች ፣ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ቾክ ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ጨረሮች ፣ እንዲሁም የሲቪዲ ሲሲ ሽፋን እና የ TaC ሽፋኖች.
ምርቶቹ በዋነኛነት በሴሚኮንዳክተር እና በፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ እንደ ክሪስታል እድገት ፣ ኤፒታክሲ ፣ ማሳከክ ፣ ማሸግ ፣ ሽፋን እና ማሰራጨት እቶን መሳሪያዎች ውስጥ ያገለግላሉ ።

ኢሜይል ይላኩልን።

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

መግለጫ

በሚተገበርበት ጊዜ በጣም የቅርብ መቻቻልን እንጠብቃለን።የሲሲ ሽፋን, ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ማሽነሪ በመጠቀም አንድ ወጥ የሆነ የሱሴፕተር መገለጫን ለማረጋገጥ።እንዲሁም በኢንደክቲቭ በሚሞቁ ስርዓቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ተስማሚ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት ያላቸው ቁሳቁሶችን እናመርታለን።ሁሉም የተጠናቀቁ ክፍሎች ከንጽህና እና የመጠን ተገዢነት የምስክር ወረቀት ጋር አብረው ይመጣሉ።

ኩባንያችን ያቀርባልየሲሲ ሽፋንሂደት አገልግሎቶች በግራፋይት ፣ ሴራሚክስ እና ሌሎች ቁሳቁሶች ላይ በሲቪዲ ዘዴ ፣ ስለሆነም ካርቦን እና ሲሊከን የያዙ ልዩ ጋዞች ከፍተኛ ንፅህናን ለማግኘት በከፍተኛ የሙቀት መጠን ምላሽ ሲሰጡ ፣ ከፍተኛ ንፅህና ሲሲሲ ሞለኪውሎች ፣ በተሸፈኑ ቁሳቁሶች ላይ የተከማቹ ሞለኪውሎች ፣ የ SIC መከላከያ ንብርብር ይመሰርታሉ።የተፈጠረው SIC ከግራፋይት መሰረት ጋር በጥብቅ የተሳሰረ ነው፣የግራፋይት መሰረትን ልዩ ባህሪያትን በመስጠት፣የግራፋይቱ ወለል የታመቀ፣Porosity-ነጻ፣ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣የዝገት መቋቋም እና ኦክሳይድ መቋቋም።

ጂኤፍ (1)

የሲቪዲ ሂደት እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህናን እና የቲዎሬቲካል እፍጋትን ያቀርባልየሲሲ ሽፋንምንም porosity ጋር.ከዚህም በላይ የሲሊኮን ካርቦይድ በጣም ከባድ ስለሆነ ወደ መስታወት መሰል ገጽታ ሊጸዳ ይችላል.የሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋንእጅግ በጣም ከፍተኛ የንጽሕና ወለል እና እጅግ በጣም የመልበስ ጥንካሬን ጨምሮ በርካታ ጥቅሞችን ሰጥቷል።የታሸጉ ምርቶች በከፍተኛ ቫክዩም እና ከፍተኛ የሙቀት ሁኔታ ውስጥ ጥሩ አፈፃፀም ስላላቸው በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እና በሌሎች እጅግ በጣም ንፁህ አከባቢ ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ናቸው።እንዲሁም የፒሮሊቲክ ግራፋይት (PG) ምርቶችን እናቀርባለን።

ዋና ዋና ባህሪያት

1. ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ መቋቋም;
የሙቀት መጠኑ እስከ 1600 C ሲደርስ የኦክሳይድ መከላከያው አሁንም በጣም ጥሩ ነው.
2. ከፍተኛ ንፅህና፡- በከፍተኛ የሙቀት ክሎሪን ሁኔታ በኬሚካል ትነት ክምችት የተሰራ።
3. የአፈር መሸርሸር መቋቋም: ከፍተኛ ጥንካሬ, የታመቀ ገጽ, ጥቃቅን ቅንጣቶች.
4. የዝገት መቋቋም: አሲድ, አልካሊ, ጨው እና ኦርጋኒክ reagents.

ዋና -05

ዋና -04

ዋና-03

የ CVD-SIC ሽፋኖች ዋና ዝርዝሮች

ሲሲ-ሲቪዲ
ጥግግት	(ግ/ሲሲ)	3.21
ተለዋዋጭ ጥንካሬ	(ኤምፓ)	470
የሙቀት መስፋፋት	(10-6/ኪ)	4
የሙቀት መቆጣጠሪያ	(ወ/ኤምኬ)	300

መተግበሪያ

የሲቪዲ ሲሊከን ካርቦይድ ሽፋን ቀደም ሲል በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ተተግብሯል ፣እንደ MOCVD ትሪ ፣ RTP እና ኦክሳይድ etching chamber ሲሊኮን ናይትራይድ ከፍተኛ የሙቀት ድንጋጤ የመቋቋም ችሎታ ስላለው እና ከፍተኛ የኃይል ፕላዝማን መቋቋም ይችላል።
-ሲሊኮን ካርቦይድ በሴሚኮንዳክተር እና ሽፋን ላይ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል.