ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
ሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) በሦስተኛው ትውልድ ሴሚኮንዳክተሮች ውስጥ ቁልፍ ቁሳቁስ ነው, ነገር ግን የምርት መጠኑ ለኢንዱስትሪ እድገት መገደብ ምክንያት ሆኗል. በሴሚሴራ ላቦራቶሪዎች ውስጥ ሰፋ ያለ ምርመራ ካደረጉ በኋላ፣ የተረጨ እና የተጣራ ታሲ አስፈላጊው ንፅህና እና ወጥነት እንደሌለው ተረጋግጧል። በተቃራኒው የሲቪዲ ሂደቱ የ 5 ፒፒኤም ንፅህና እና እጅግ በጣም ጥሩ ተመሳሳይነት ያረጋግጣል. የሲቪዲ ታሲ አጠቃቀም የሲሊኮን ካርቦዳይድ ቫፈርን ምርት መጠን በእጅጉ ያሻሽላል። ውይይቶችን በደስታ እንቀበላለን።TaC የተሸፈነ ግራፋይት ባለሶስት ክፍል ቀለበቶች የሲሲ ቫፈር ወጪዎችን የበለጠ ለመቀነስ.
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
