ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም.የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
የ 8 ኢንች የሲሊኮን ካርቦዳይድ (ሲሲ) ዋይፋይ በመምጣቱ ለተለያዩ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች የሚያስፈልጉ መስፈርቶች እየጨመሩ መጥተዋል, በተለይም ለኤፒታክሲ ሂደቶች የሙቀት መጠኑ ከ 2000 ዲግሪ ሴልሺየስ ሊበልጥ ይችላል.እንደ ግራፋይት በሲሊኮን ካርቦይድ የተሸፈነው የባህላዊ የሱሴስተር ቁሶች በእነዚህ ከፍተኛ ሙቀቶች ውስጥ ወደ ታች ይወርዳሉ, ይህም የኤፒታክሲን ሂደት ይረብሸዋል.ይሁን እንጂ ሲቪዲ ታንታለም ካርቦዳይድ (ታሲ) ይህንን ችግር በብቃት ይፈታል፣ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ያለውን የሙቀት መጠን በመቋቋም ረጅም የአገልግሎት ዘመን ይሰጣል።ሴሚሴራ ያነጋግሩs የታንታለም ካርቢድ ሽፋን ግማሽ-ጨረቃስለላቁ መፍትሔዎቻችን የበለጠ ለማሰስ።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል።የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
TaC የተሸፈነ ተንሳፋፊ
ግራፋይት በTaC የተሸፈነ ሬአክተር
