TaC Coated Plate በሲሲ ኤፒታክሲያል ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል የተነደፈ ልዩ ዲስክ ነው፣ ከፍተኛ ጥራት ካለው ግራፋይት ቁሳቁስ በትክክል የተሰራ። መሬቱ በታንታለም ካርቦዳይድ (ታሲ) በልዩ ንፅህና እና ጥንካሬው በሚታወቀው ውህድ በደንብ ተሸፍኗል። የTaC ሽፋኑ የፕላቱን ዘላቂነት እና ለከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋምን ያሻሽላል, ይህም ለሲሲ ኤፒታክሲያል ሂደቶች አስፈላጊ ሁኔታዎች ተስማሚ ያደርገዋል.
ይህ ፈጠራ TaC የተሸፈነ ፕሌት በሲሲ ኤፒታክሲያል ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል የተነደፈ፣ ከፍተኛ ጥራት ካለው የግራፋይት ቁሳቁስ በትክክል የተሰራ ልዩ ዲስክ ነው። ታሲ የተሸፈነ ፕሌትስ ንጣፍ በታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) በልዩ ንፅህናው እና ጥንካሬው በሚታወቀው ውህድ በጥንቃቄ ተሸፍኗል። በተለያዩ የ SiC epitaxial እድገት ደረጃዎች ውስጥ ዋፍሮችን ለመሸከም እንደ አስተማማኝ መድረክ ሆኖ ያገለግላል። ከፍተኛ-ንፅህና ያለው ግራፋይት መሰረት የተረጋጋ እና የማይነቃነቅ ንጣፍ ይሰጣል፣የTaC ሽፋኑ ደግሞ ከኬሚካላዊ ምላሾች እና ከመልበስ ተጨማሪ የመከላከያ ሽፋንን ይጨምራል።
ሴሚክዘመንTaC Coated Plate በደንበኞቹ ልዩ መስፈርቶች መሰረት ተበጅቷል፣ ይህም የተሻለ አፈጻጸም እና ከሲሲ ኤፒታክሲያል ስርዓታቸው ጋር ተኳሃኝነትን ያረጋግጣል። መጠኑ፣ቅርጽ ወይም ሌላ ዝርዝር መግለጫዎች፣እነዚህ ሳህኖች የእያንዳንዱን መተግበሪያ ልዩ ፍላጎቶች ለማሟላት የተበጁ ናቸው።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።