ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው የዋፈር ተሸካሚዎች በዋፍ ማቀነባበሪያ እና አያያዝ ሂደቶች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ። በማምረት ሂደት ውስጥ የዋፋዎችን ደህንነት, ትክክለኛነት እና ወጥነት ለማረጋገጥ የተረጋጋ ድጋፍ እና ጥበቃ ይሰጣሉ. የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን የአገልግሎት አገልግሎቱን ማራዘም, ወጪዎችን መቀነስ እና የሴሚኮንዳክተር ምርቶችን ጥራት እና አስተማማኝነት ማሻሻል ይችላል.
የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያለው ዋፈር ተሸካሚ መግለጫ እንደሚከተለው ነው
1. የቁሳቁስ ምርጫ: ታንታለም ካርቦይድ በጣም ጥሩ አፈጻጸም, ከፍተኛ ጥንካሬ, ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ, የዝገት መቋቋም እና እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያት ያለው ቁሳቁስ ነው, ስለዚህም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል.
2. የገጽታ ሽፋን፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን በዋፈር ተሸካሚ ወለል ላይ በልዩ ሽፋን ሂደት አንድ ወጥ እና ጥቅጥቅ ያለ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ይሠራል። ይህ ሽፋን ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) ሲኖረው, ተጨማሪ መከላከያዎችን እና መከላከያዎችን ሊለብስ ይችላል.
3. ጠፍጣፋነት እና ትክክለኛነት፡- የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያለው ዋፈር ተሸካሚ ከፍተኛ ደረጃ ያለው ጠፍጣፋ እና ትክክለኛነት ያለው ሲሆን ይህም በማምረት ሂደት ውስጥ የዋፋዎችን መረጋጋት እና ትክክለኛነት ያረጋግጣል። የማጓጓዣው ወለል ጠፍጣፋ እና አጨራረስ የዋፈርን ጥራት እና አፈፃፀም ለማረጋገጥ ወሳኝ ናቸው።
4. የሙቀት መረጋጋት፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ያለው ዋፈር ተሸካሚዎች በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ያለ መበላሸት ወይም ሳይፈቱ መረጋጋትን ሊጠብቁ ይችላሉ፣ ይህም በከፍተኛ የሙቀት ሂደቶች ውስጥ የዋፋዎችን መረጋጋት እና ወጥነት ያረጋግጣል።
5. የዝገት መቋቋም፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን በጣም ጥሩ የዝገት የመቋቋም ችሎታ አለው፣የኬሚካሎችን እና መፈልፈያዎችን መሸርሸር መቋቋም እና ተሸካሚውን ከፈሳሽ እና ጋዝ ዝገት ይከላከላል።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
