የታንታለም ካርበይድ የተሸፈነ ግራፋይት ሉህቀጭን ንብርብር ያለው ግራፋይት ቁሳቁስ ነው።ታንታለም ካርበይድበንጣፉ ወለል ላይ. የቀጭኑ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን አብዛኛውን ጊዜ በግራፋይት ወለል ላይ እንደ አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD) ወይም የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (ሲቪዲ) ባሉ ቴክኒኮች ይመሰረታል። ይህ ሽፋን እንደ ከፍተኛ ጥንካሬ, ጥሩ የመልበስ መቋቋም, የዝገት መቋቋም እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት የመሳሰሉ ምርጥ ባህሪያት አሉት.
ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ግራፋይት ሉህ ዋና ጥቅሞች የሚከተሉትን ያጠቃልላል ።
1. ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም: ታንታለም ካርቦይድ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ እና እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው መረጋጋት አለው, የተሸፈነው ግራፋይት ሉህ ከፍተኛ ሙቀት ባለው አካባቢ ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ያደርገዋል.
2. የዝገት መቋቋም፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን የበርካታ ኬሚካላዊ ጎጂ ንጥረ ነገሮችን መሸርሸር መቋቋም እና የእቃውን የአገልግሎት ዘመን ሊያራዝም ይችላል።
3. ከፍተኛ ጠንካራነት፡ የታንታለም ካርቦዳይድ ስስ ሽፋን ከፍተኛ ጥንካሬ ጥሩ የመልበስ መቋቋም እና ከፍተኛ የመልበስ መቋቋም ለሚፈልጉ መተግበሪያዎች ተስማሚ ነው።
4. የኬሚካል መረጋጋት፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ለኬሚካል ዝገት በጣም ጥሩ መረጋጋት አለው እና ለአንዳንድ የዝገት ሚዲያዎች ለመጠቀም ተስማሚ ነው።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
