የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያለው የሱሴስተር ድጋፍ ሰሃንበቀጭኑ ሽፋን የተሸፈነ ተንጠልጣይ ወይም ድጋፍ ሰጪ መዋቅር ነውታንታለም ካርበይድ. ይህ ሽፋን በተጠባባቂው ወለል ላይ እንደ አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD) ወይም የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (ሲቪዲ) ባሉ ቴክኒኮች ሊፈጠር ይችላል ፣ታንታለም ካርበይድ.
ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው የመሠረት ድጋፍ ሰሌዳዎች ዋና ዋና ባህሪያት የሚከተሉትን ያካትታሉ:
1. ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት: ታንታለም ካርቦይድ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት አለው, ይህም የተሸፈነው ቤዝ ድጋፍ ሰሃን በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ባሉ የስራ አካባቢዎች ውስጥ ለድጋፍ ፍላጎቶች ተስማሚ ነው.
2. የዝገት መቋቋም: የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ጥሩ የዝገት መከላከያ አለው, የኬሚካል ዝገትን እና ኦክሳይድን መቋቋም እና የመሠረቱን የአገልግሎት ዘመን ሊያራዝም ይችላል.
3. ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም: የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ከፍተኛ ጥንካሬ የመሠረት ድጋፍ ሰሃን ጥሩ የመልበስ መከላከያን ይሰጣል, ይህም ከፍተኛ የመልበስ መቋቋም ለሚፈልጉ አጋጣሚዎች ተስማሚ ነው.
4. የኬሚካል መረጋጋት፡- ታንታለም ካርቦዳይድ ለተለያዩ የኬሚካል ንጥረ ነገሮች ከፍተኛ መረጋጋት ስላለው የተሸፈነው ቤዝ ድጋፍ ሰሃን በአንዳንድ ብስባሽ አካባቢዎች ላይ ጥሩ ስራ ይሰራል።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
