ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
የታንታለም ካርቦይድ ዝገት የሚቋቋም የሽፋን ቀለበቶች እንደ ኬሚካላዊ ፣ ዘይት እና ጋዝ ኢንዱስትሪዎች ፣ ኤሌክትሮኒክስ መሣሪያዎች ፣ የሕክምና መሣሪያዎች ፣ ወዘተ ያሉ ጎጂ ሚዲያዎች ባሉባቸው የተለያዩ የመተግበሪያ ሁኔታዎች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ ። አስተማማኝ የዝገት ጥበቃን ይሰጣሉ ፣ ዝገትን እና ክፍሎችን ይጎዳሉ ፣ ያራዝማሉ። የመሳሪያዎች አገልግሎት ህይወት, እና የምርት መረጋጋት እና አስተማማኝነት ያረጋግጡ.
የታንታለም ካርቦይድ ዝገት የሚቋቋም የሽፋን ቀለበቶች ባህሪያት የሚከተሉት ናቸው.
1. የዝገት መቋቋም፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን በተለያዩ የሚበላሹ ሚዲያዎች የአፈር መሸርሸርን ይቋቋማል፤ እነዚህም እንደ አሲድ፣ አልካላይስ እና ጨዎችን የመሳሰሉ ኬሚካሎችን ጨምሮ እጅግ በጣም ጥሩ የዝገት መከላከያ ናቸው።
2. ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት: የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋኖች መዋቅራዊ መረጋጋትን እና ጥሩ የዝገት መቋቋምን በከፍተኛ ሙቀት አካባቢዎች ውስጥ ማቆየት ይችላሉ, እና ከፍተኛ ሙቀት በሚበላሹ አካባቢዎች ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ናቸው.
3. ዝቅተኛ የግጭት ቅንጅት፡- የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ዝቅተኛ የግጭት ቅንጅት ያለው ሲሆን ይህም በሽፋኑ እና በሌሎች ቁሳቁሶች መካከል ያለውን የግጭት ብክነት እና የኃይል ፍጆታን ይቀንሳል።
4. ከፍተኛ ጥንካሬ፡ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ከፍተኛ ጥንካሬ ያለው ሲሆን ቧጨራዎችን እና የቁሳቁሱን ገጽታ በሚበላሹ ሚዲያዎች ላይ የሚደርሰውን ጉዳት መቋቋም ይችላል።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
