ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
ግራፋይት በጣም ጥሩ ከፍተኛ ሙቀት ያለው ቁሳቁስ ነው, ነገር ግን በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ በቀላሉ ኦክሳይድ ያደርጋል. በቫኪዩም እቶኖች ውስጥ በማይነቃነቅ ጋዝ ውስጥ እንኳን ፣ አሁንም ዘገምተኛ ኦክሳይድ ሊወስድ ይችላል። የሲቪዲ ታንታለም ካርቦዳይድ (ታሲ) ሽፋንን በመጠቀም የግራፍ ንኡስ ክፍልን በጥሩ ሁኔታ ይከላከላል, እንደ ግራፋይት ተመሳሳይ ከፍተኛ የሙቀት መከላከያ ያቀርባል. ታሲ እንዲሁ የማይነቃነቅ ቁሳቁስ ነው፣ ይህ ማለት በከፍተኛ ሙቀት እንደ አርጎን ወይም ሃይድሮጂን ካሉ ጋዞች ጋር ምላሽ አይሰጥም።ጥያቄታንታለም ካርቦይድ ሲቪዲ ሽፋን EPI Susceptor አሁን!
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
