ሴሚሴራ ለተለያዩ አካላት እና ተሸካሚዎች ልዩ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ይሰጣል።የሴሚሴራ መሪ ሽፋን ሂደት የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) ሽፋን ከፍተኛ ንፅህናን ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋትን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቻቻልን ፣ የ SIC/GAN ክሪስታሎች እና የኢፒአይ ንብርብሮች የምርት ጥራትን ለማሻሻል ያስችላል።በግራፋይት የተሸፈነ TaC susceptor), እና የቁልፍ ሬአክተር ክፍሎችን ህይወት ማራዘም. የታንታለም ካርቦዳይድ ታሲ ሽፋን አጠቃቀም የጠርዝ ችግርን ለመፍታት እና የክሪስታል እድገትን ጥራት ለማሻሻል ነው, እና ሴሚሴራ የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን ቴክኖሎጂን (ሲቪዲ) መፍታት, ዓለም አቀፍ የላቀ ደረጃ ላይ ደርሷል.
የታንታለም ካርቦዳይድ ፕላኔታዊ ዲስክ የሥራ መርህ ከፕላኔቶች ማርሽ ስርጭት ጋር ተመሳሳይ ነው ፣ በዚህ ጊዜ ፕላኔቶች ዲስክ እንደ መካከለኛ የመንዳት አካል ሆኖ የሚያገለግል እና የኃይል ማስተላለፊያ እና የእንቅስቃሴ ቁጥጥርን ከውስጥ እና ከውጭ ማርሽ ጋር በማጣመር ይገነዘባል። የፕላኔቶች ዲስክ ብዙውን ጊዜ ለስላሳ ስርጭት እና ከፍተኛ የማሽከርከር ውፅዓት ለማግኘት ከውስጥ እና ከውጨኛው ማርሽ ጋር የሚጣመሩ በርካታ የጥርስ ጉድጓዶች አሉት።
ከ TaC ጋር እና ያለ
TaC ከተጠቀሙ በኋላ (በስተቀኝ)
የታንታለም ካርቦይድ ፕላኔታዊ ዲስክ ባህሪያት የሚከተሉት ናቸው.
1. የመልበስ መቋቋም፡- የታንታለም ካርቦዳይድ ቁሳቁስ እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ እና የመቋቋም አቅም አለው፣በከፍተኛ ጭነት እና በከፍተኛ ፍጥነት ያለው የመንቀሳቀስ ሁኔታ ጥሩ ጥንካሬን ጠብቆ ማቆየት እና የመዳከም እና የግጭት ኪሳራን ይቀንሳል።
2. ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት፡- ታንታለም ካርቦዳይድ እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው መረጋጋት ያለው ሲሆን በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ለረጅም ጊዜ ያለምንም ጉዳት ሊሰራ ይችላል ይህም ለከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች እና አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነው.
3. ዝቅተኛ ፍሪክሽን ኮፊሸንት፡ የታንታለም ካርቦዳይድ ወለል ዝቅተኛ የግጭት ቅንጅት ያለው ሲሆን ይህም በሚተላለፍበት ጊዜ የሃይል ብክነትን እና ሙቀት ማመንጨትን ይቀንሳል እና የመተላለፊያ ቅልጥፍናን ያሻሽላል።
4. ከፍተኛ ትክክለኛነት እና መረጋጋት: የታንታለም ካርቦይድ ፕላኔቶች ዲስኮች በጥሩ እደ-ጥበብ, ከፍተኛ ትክክለኛነት እና መረጋጋት የተሰሩ ናቸው, እና ትክክለኛ ስርጭትን እና የቦታ ቁጥጥርን ሊያገኙ ይችላሉ.
ከዚህም በላይ ሴሚሴራበ TaC የተሸፈኑ ምርቶችከ ጋር ሲነፃፀር ረዘም ያለ የአገልግሎት ሕይወት እና ከፍተኛ የሙቀት መቋቋምን ያሳያልየሲሲ ሽፋኖች.የላቦራቶሪ መለኪያዎች የእኛንየ TaC ሽፋኖችበተከታታይ እስከ 2300 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ባለው የሙቀት መጠን ረዘም ላለ ጊዜ ማከናወን ይችላል። የኛ ናሙናዎች አንዳንድ ምሳሌዎች ከዚህ በታች አሉ።
